本数据集合记录了钕铁硼磁体晶界扩散工艺过程中的关键参数，包括温度均匀性、蒸发源温度、气体流量等数据。通过建立扩散深度预测模型，实现工艺参数自动优化，为重稀土减量使用和磁性能提升提供数据支撑。数据来源于扩散炉传感器实时采集，采样频率为1次/分钟。

数据采集来源：本数据来源于企业自主研发的晶界扩散设备在生产过程中通过高温热像仪、气体流量计、蒸发源温度传感器等实时采集的原始工艺参数数据。数据归集说明：按时间戳、设备编号、炉内区域等对温度均匀性、蒸发源温度、气体流量等关键参数进行归集，形成结构化工艺数据表。数据处理说明：使用Python 3.10与Pandas库对原始数据进行清洗，剔除无效、缺失及异常值；采用中值滤波算法进行数据平滑处理，提升数据质量。基于GB/T 13560-2017标准对关键参数进行校准，确保数据合规性与准确性。通过“扩散深度预测模型”对处理后的数据进行智能分析，输出预测矫顽力增益值，并自动生成工艺调整措施（如调节加热功率、启动温度补偿等），形成智能化加工后的新数据列（包括“预测矫顽力增益”与“工艺调整措施”）。数据脱敏：设备编号经MD5哈希处理，炉内区域编号化，时间戳精度至分钟，不保留设备位置与IP信息。创新性数据列：加工后新增“预测矫顽力增益”与“工艺调整措施”列，体现数据智能化处理后的创新价值。

1）工艺优化：用于晶界扩散工艺参数实时调整，提高矫顽力增益稳定性 2）质量控制：降低重稀土使用量的同时保证磁性能达标 3）缺陷分析：识别温度不均匀、气体流量异常等工艺问题 4）设备维护：监测扩散炉运行状态，预测维护需求 给上述应用场景提供了数据支撑。

记录ID 时间戳 设备编号 炉内区域 温度均匀性(%) 蒸发源温度(℃) 蒸发源温度波动(℃) 气体流量(L/min) 气体流量设定值(L/min) 预测矫顽力增益(%) 实际矫顽力增益(%) 工艺调整措施 DIFF_REC_0001 2025-08-06T12:46:00Z DIFF_01 C 93.3 915.6 3.2 5.3 6 27.9 28.2 无调整 DIFF_REC_0002 2025-08-06T14:29:00Z DIFF_01 B 95.9 943.3 5.3 6.8 6 27.3 27.8 无调整 DIFF_REC_0003 2025-08-06T11:04:00Z DIFF_03 B 95.2 934.3 3.5 5.4 6 22.7 22.6 无调整

数据字段 数据类型 数据字段内容示例 数据字段含义 记录ID 编号 “DIFF_REC_0001” 代表数据记录的唯一标识编号 时间戳 日期时间 “2025-08-06T12:46:00Z” 代表数据采集的时间 设备编号 编号 “DIFF_01” 代表扩散炉设备的标识编号 炉内区域 位置标识 “C” 代表扩散炉内部的分区位置标识 温度均匀性(%) 温度 “93.3” 代表炉内温度分布的均匀性百分比 蒸发源温度(℃) 温度 “915.6” 代表重稀土蒸发源的实时温度值 蒸发源温度波动(℃) 波动范围 “3.2”代表蒸发源的温度波动范围 气体流量(L/min) 流量值 “5.3” 代表实际气体的流量值 气体流量设定值(L/min) 设定值 “6” 代表工艺要求的气体流量设定值 预测矫顽力增益(%) 数值 “27.9” 代表模型预测的矫顽力提升百分比 实际矫顽力增益(%) 数值 “28.2” 代表抽样测量的实际矫顽力提升百分比 工艺调整措施 措施 “无” 代表根据模型分析采取的工艺调整措施