广东省数据知识产权存证登记平台
登记信息
半导体制造声-电磁耦合电源管理监测数据 已登记
  • 数据申请号:

    粤2025120202972

  • 数据登记号:

    SZ2025120027268.4

  • 关键词:

    声-电磁耦合;半导体制造;电源管理;自适应调控;在线监测

  • 登记时间:

    2026-07-22

  • 平台证书编号:

    20251244000027268

  • 数据处理者:

    暂无

  • 服务机构:

    广东中衢知识产权代理事务所(普通合伙)

  • 登记主体:

    珠海鼎正国信科技有限公司

  • 法院编号:

    广州互联网法院 - fa346ad3035bcde761072f9a1887bdb926219490ba33c367f05e894d240c2da4-749fc1a4;legalxchain

区块链信息
  • 上链时间:

    2026-07-10

  • 所属区块链:

    司法联盟链·广东省知识产权保护中心

  • 证据指纹:

    c74ad51e5218199834c6b332a853ac211ae606de918f76516192285a3908ab347592f835c0ab38bf5fa47c0daa7a318cceec416358cf1870f6a661858592f851

  • 区块链存证证书编号:

    LXM-GDIPI-23202607103884092735

数据信息
数据简介
该数据为半导体制造过程中在线监测仪电源管理系统的核心调控参数数据。其处理过程遵循特定规则:首先对收集的设备运行数据进行声空化增强与希尔伯特变换,提取瞬时相位以生成预处理信号和耦合特征向量;然后基于这些中间数据,结合超声波换能器与磁场强度,分别计算声致流体力与电磁致热功率;最终通过多物理场耦合模型将两者融合,生成声-电磁耦合调控参数。此数据主要用于实时反馈控制,动态调整电源输出,确保监测系统在复杂工况下的高精度与稳定性。
  • 数据来源:

    自行产生

  • 数据所属行业分类:

    C35 专用设备制造业

数据处理规则说明
数据处理步骤包括:首先通过声空化增强和希尔伯特变换对原始运行数据进行预处理,提取耦合特征向量;其次,基于特征向量和预处理信号,计算声致热泳驱动电压与等离子体调控电势,并结合超声波与磁场参数,推导出声致流体力与电磁致热功率;最终,融合多物理场力生成声-电磁耦合调控参数,并结合负载电流与流速计算自适应反馈增益与动态稳定性指标。处理后数据中的重要结构包括“耦合特征向量”、“声-电磁耦合调控参数”和“动态稳定性指标”。该处理规则的有益效果在于实现了对复杂电源系统的多维度、自适应动态调控,显著提升了系统运行的稳定性与抗干扰能力,并能提前预警和自动修正异常状态。
应用场景描述
该应用场景主要面向半导体制造等高精尖产业,目标用户为生产线上的工艺工程师与设备运维人员。此系统用于对关键制程环节中的在线监测仪(如微流体或等离子体监测设备)进行精细化的电源管理。其核心作用是解决在复杂电磁与声学环境下,传统电源系统易受干扰、稳定性差的问题,通过声-电磁耦合调控技术,实现对电源输出的自适应动态优化,确保监测数据的精准可靠。这不仅能有效提升产品良率、减少因数据失真导致的废片,还能降低设备故障率和维护成本,从而为企业带来显著的经济效益,并推动高端制造业的技术进步。
  • 数据格式:

    xlsx

  • 数据更新频率:

    实时更新

  • 数据量:

    50

样例数据
时间戳 设备ID 耦合特征向量_X 耦合特征向量_Y 耦合特征向量_Z 声致热泳驱动电压(V) 等离子体调控电势(V) 声致流体力(N) 电磁致热功率(W) 声-电磁耦合调控参数 自适应反馈增益 动态稳定性指标 目标电流(A) 目标流速(μL/min) 控制信号_电流 控制信号_流速 系统状态 2025/11/20 9:00 SEM_POWER_001 0.0623 0.0864 0.5326 6.72 207.38 0.8374 24.085 24.0992 1.283 11.024 6.68 51.06 0 0 正常 2025/11/20 9:05 SEM_POWER_002 -0.5214 0.4035 0.1594 53.69 293.99 21.5542 16.645 27.2333 1.165 18.93 4.22 35.18 0 0 正常 2025/11/20 9:10 SEM_POWER_003 0.1799 -0.157 0.6031 10.81 443.41 1.934 57.165 57.1981 0.407 7.248 3.86 93.96 0 0 正常
数据结构样例
时间戳 设备ID 耦合特征向量_X 耦合特征向量_Y 耦合特征向量_Z 声致热泳驱动电压(V) 等离子体调控电势(V) 声致流体力(N) 电磁致热功率(W) 声-电磁耦合调控参数 自适应反馈增益 动态稳定性指标 目标电流(A) 目标流速(μL/min) 控制信号_电流 控制信号_流速 系统状态
数据状态
  • 2026-07-22

    数据知识产权登记完成